[19p-P4-1~17] 13.5 デバイス／集積化技術

[19p-P4-16] 二次元Si系半導体の検証(Ⅲ)：半導体膜厚依存性

長嶺 由騎¹、〇小又 祐介¹、青木 孝¹、鮫島 俊之²、水野 智久¹ (1.神奈川大理、2.農工大工)

キーワード：半導体