[19p-P4-1~17] 13.5 デバイス／集積化技術

[19p-P4-9] シリコン単電子ポンプのppm レベル高精度動作

〇山端 元音¹、Giblin Stephen²、片岡 真哉²、唐沢 毅¹、藤原 聡¹ (1.NTT物性基礎研、2.National Physical Lab.)

キーワード：単電子、電流標準、シリコン

シリコン細線MOSFETから成る単電子ポンプで生成した電流の精度評価を報告する。ポンプ電流と１次標準で校正した標準抵抗から生成した高精度電流を比較することで、ポンプ電流の高精度測定を行い、1GHz動作でのポンプ電流の精度が0.92ppm以下であることがわかった。1GHz動作ではこれまでで最良の値である。