[19p-P6-1~8] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19p-P6-3] スロット内生成マイクロ波プラズマを用いた高速プラズマCVD

〇(M1)山本 匡毅¹、鈴木 陽香¹、豊田 浩孝^1,2 (1.名大工、2.名大プラズマナノ工学研究センター)

キーワード：プラズマCVD、マイクロ波プラズマ