[19p-S224-1~17] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[19p-S224-12] 両末端シラノールPDMSによって成膜したPDMS離型膜の評価

〇岡田 真¹、松井 真二¹ (1.兵県大高度研)

キーワード：離型膜、ナノインプリント