[19p-W242-1~7] 12.1 作製・構造制御

[19p-W242-1] 光学式流量モニタを用いた有機蒸着プロセスの安定化

〇末次 大輔¹、小岩崎 剛¹、大熊 崇文¹ (1.パナソニック)

キーワード：有機エレクトロルミネッセンス