[19p-W611-1~13] 8.7 Plasma phenomena, emerging area of plasmas and their new applications

△ [19p-W611-1] The set of electron collision cross sections for c-C₄F₈

〇(D)Satoru Kawaguchi¹, Kazuhiro Takahashi¹, Kohki Satoh¹, Hidenori Itoh¹ (1.Muroran I. T.)

Keywords:c-C4F8,Monte Carlo simulation,Electron swarm method

c-C₄F₈ガスの電子衝突断面積セットは，これまでに多数報告されているが，それらを用いて計算される電子輸送係数の値は必ずしも実測値と一致するとは限らない。本発表では，広範囲の換算電界において，電子移動速度および実効電離係数の計算値が実測値と一致するc-C₄F₈ガスの電子衝突断面積のセットを，電子スオーム法によって推定した結果を報告するとともに，その妥当性を示す。