[20a-H111-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[20a-H111-2] スプレー法による酸化アルミニウム薄膜の作製

〇高田 直也、安部 功二¹、長沼 健斗¹ (1.名工大)

キーワード：スプレー