[20a-H113-1~12] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-H113-1] シリコン結晶中の熱平衡点欠陥：フレンケル対かショットキー欠陥か

〇末澤 正志¹、飯島 嘉明¹、米永 一郎¹ (1.東北大金研)

キーワード：シリコン、フレンケル対、ショットキー欠陥

シリコン結晶中の熱平衡点欠陥がフレンケル対かショットキー欠陥かは、古くから議論されているが決着がついていない。講演では従来の議論を振り返り、最近得られた著者らの点欠陥形成エネルギーの測定結果から、ショットキー欠陥であることを示す。