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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-H113-1~12] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2016年3月20日(日) 09:30 〜 12:45 H113 (本館)

沓掛健太朗(東北大)、永井勇太(グローバルウェーハズ・ジャパン)

12:00 〜 12:15

△ [20a-H113-10] フォトルミネッセンス法による高濃度Si結晶の不純物効果の解析

〇中川啓¹、田島道夫¹、小椋厚志¹ (1.明治大)

キーワード：Si結晶、フォトルミネッセンス、不純物効果

　　　