[20a-H113-1~12] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-H113-12] 平行デュアルレーザビーム法による自由キャリアのバルク寿命評価： 装置構成と平行デュアルビームの実現

〇金田 寛¹、大村 一郎¹ (1.九工大院工)

キーワード：シリコン、キャリアライフタイム、パワーデバイス