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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-H113-1~12] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2016年3月20日(日) 09:30 〜 12:45 H113 (本館)

沓掛健太朗(東北大)、永井勇太(グローバルウェーハズ・ジャパン)

10:15 〜 10:30

[20a-H113-4] CZシリコン結晶の長時間成長停止中に発生する格子間シリコンの観察

〇阿部孝夫¹、高橋徹¹、白井光雲² (1.信越半導体、2.阪大産研)

キーワード：CZシリコン結晶

　　　