[20a-KD-1~5] 8.2 プラズマ診断・計測

[20a-KD-5] アルゴン-塩素プラズマにおけるGaNダメージのガス比依存性

〇伴野 良継¹、小川 大輔¹、中野 由崇¹、中村 圭二¹ (1.中部大工)

キーワード：PID、フォトルミネッセンス、塩素