[20a-P1-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[20a-P1-1] 極低温下におけるPZT薄膜のリーク電流特性

〇(M1)畠 希¹、佐々木 敏夫²、橋爪 洋一郎¹、中嶋 宇史¹、岡村 総一郎¹ (1.東理大理、2.東北大金研)

キーワード：強誘電体薄膜、リーク電流、PZT