9:30 AM - 11:30 AM
[20a-P1-5] Properties of Lead-Free BIT Piezoelectric Thin Film by Sputtering Method
Keywords:Lead-Free Piezoelectric Thin Film,Sputtering
チタン酸ビスマス系セラミックス作製の知見をもとに、組成を調整したスパッタターゲットを作製し、BIT系薄膜の形成を行った。高周波電力60 Wにおいて(171)面の成長が確認され、高周波電力により結晶成長に違いが見られた。分極ヒステリシス測定結果より、分極量は小さいものの、強誘電体特性を示すことを確認できた。