[20a-S222-1~11] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[20a-S222-10] AMZO/Ag(Al)/AMZO-DMDにおける薄膜Ag層のAlドープ効果

〇五十嵐 佳苗¹、杉本 悠紀子¹、菊池 昭彦^1,2 (1.上智大・理工、2.上智大学ナノテクセンター)

キーワード：透明導電膜