[20a-S222-1~11] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[20a-S222-2] ガリウム添加酸化亜鉛導電膜を感材とする水素センサーにおける応答速度向上のための水素ガス輸送制御

〇山本 哲也¹、野本 淳一¹、牧野 久雄¹、岸本 誠一² (1.高知工科大総研、2.高知高専)

キーワード：酸化物半導体、水素センサー、反応速度

われわれは、高速低温検知の機能を有するGa添加酸化亜鉛導電性薄膜を感材とする水素ガスを研究開発している。検知現象は電気伝導度変化である。実験と第１原理電子構造計算との結果に対する解析から、応答速度を遅らす阻害因子は、電子受容体吸着酸素ガスと判断している。本発表では、阻害因子を制御した結果、応答速度１秒以内の実現が達成できたことを報告する。