[20a-S222-1~11] 21.1 Joint Session K

[20a-S222-5] Influence of grain boundary on carrier transport in polycrystalline transparent conducting Al-doped ZnO thin films (Ⅲ)

〇ryousuke uozaki¹, kyousuke watanabe¹, noriaki ikenaga¹, toshihiro miyata¹, tadatsugu minami¹ (1.OEDS R&D Center, K I T)

Keywords:ZnO

薄膜太陽電池用透明電極等に利用可能な多結晶ZnO:Al(AZO)透明導電膜の電気伝導機構は未だ十分に解明されていない．今回は，Al含有量を固定して成膜方法及び成膜条件を変化させて作製したAZO薄膜の透過型電子顕微鏡(TEM)による微細構造分析及びX線回析（XRD）を用いて評価した結晶粒界とキャリア散乱機構との関係について検討したので報告する．