[20a-S222-1~11] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[20a-S222-6] 直流マグネトロンスパッタ多結晶 Al 添加 ZnO 透明導電膜の配向秩序特性及びキャリア輸送特性に与える Al 添加量の影響

〇野本 淳一¹、牧野 久雄^1,2、山本 哲也¹ (1.高知工科大総研、2.高知工科大システム工)

キーワード：透明酸化物、ZnO