[20a-S222-1~11] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[20a-S222-8] ミストデポジション法を用いたITOナノ微粒子透明導電膜の開発

〇中積 誠¹、西 康孝¹、奈良 圭¹、岩堀 恒一郎¹ (1.ニコン)

キーワード：透明導電膜、ミストデポジション、ITO