[20a-S224-1~9] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [20a-S224-1] フォトダイオードを用いたEUVレジストの透過率測定法の開発

〇豆崎 大輝¹、渡辺 雅紀¹、井口 晴貴¹、原田 哲男¹、渡邊 健夫¹ (1.兵庫県立大学)

キーワード：EUVリソグラフィー、EUVレジスト、シンクロトロン