[20a-S224-1~9] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20a-S224-5] 液晶マトリックス投影露光時の階調制御による線幅均一性向上の検討

〇堀内 敏行¹、羽根石 翔太¹、吉田 有美香¹、小林 宏史¹ (1.東京電機大)

キーワード：マスクレス露光装置、液晶プロジェクタ、階調制御

市販の液晶プロジェクタの内部に投影レンズとしてカメラレンズを取り付け、最小線幅10～100µｍのデスクトップ型の投影露光装置を開発した。しかし、照明むらが予想以上に大きかったため、液晶の要素セル毎の階調制御によるパターン形成の均一化を検討した。明部白セルの階調制御に加えて、暗部黒部に透過率を与えてコントラストも調整した結果、4pixel (37µm) L&Sの線幅をほぼ均一とすることができた。