[20a-S224-1~9] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20a-S224-9] ポリビニルピロリドン微細構造上でのAuナノ粒子形成と制御

〇佃 諭志¹、岡本 一将²、山本 洋揮³、古澤 孝弘³ (1.東北大多元研、2.北大、3.阪大産研)

キーワード：電子線リソグラフィ、Au ナノ粒子、ポリビニルピロリドン

本研究では、金属ナノ粒子合成において、保護剤として使用されるポリビニルピロリドン(PVP)の薄膜に電子線描画を行い、PVPのラインパターン形成を行った。その後塩化金酸を含む溶液中でのUV還元処理を行い、基板上に残存したPVPラインパターン上へのAuナノ粒子形成を試みた。