[20a-S321-1~10] 3.13 半導体光デバイス

[20a-S321-3] フォトニック結晶構造を導入した薄膜型光検出器の検討

〇顧 之チン¹、井上 大輔¹、平谷 拓生¹、雨宮 智宏¹、西山 伸彦¹、荒井 滋久¹ (1.東工大)

キーワード：フォトニック結晶、フォトダイオード、薄膜