[20a-S321-1~10] 3.13 Semiconductor optical devices

[20a-S321-9] Fabrication of Athermal HCG MEMS tunable VCSEL

〇Shunya Inoue¹, Masanori Nakahama¹, Akihiro Matsutani¹, Takahiro Sakaguchi¹, Fumio Koyama¹ (1.Tokyo Tech)

Keywords:VCSEL,HCG,tunable laser

短距離WDM用光源として低コスト低消費電力な波長可変光源が求められている．一般的なレーザは温度により波長が変化するため，低消費電力のためには温調フリーが重要である．本研究では熱バイモルフ構造を持つ片持ち梁を面発光レーザに導入し梁の機械的な変位により波長変化を打ち消すことを提案し，上部反射鏡として波長以下の微小構造を持つサブ波長格子を用いた波長可変面発光レーザの設計・試作評価について報告する．