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[20a-S422-2] 電子捕獲放出過程における界面トラップ間の相互作用
キーワード：半導体、界面トラップ、チャージポンピング
著者らはこれまで，従来のチャージポンピング（CP）理論の根幹である界面トラップ1個当たりの最大CP電流を固定値fq（fはゲートパルス周波数，qは電子電荷）としているのは誤りであり，0～2fqの値をとることを実証してきた．そこで，実際に個々のMOSトランジスタに含まれる界面トラップ数の真の値NTを求めたところ，一定値以上のNTの場合に，トラップ1個当たりのCP電流が殊更fq以下に抑制される傾向が見られた．この原因が界面トラップ間クーロン相互作用によるものか検討した．