[20a-S422-1~12] 13.5 デバイス／集積化技術

[20a-S422-5] しきい値電圧制御可能な三角チャネルFinFETの作製及び電気特性評価

〇柳 永シュン¹、松川 貴¹、遠藤 和彦¹、大内 真一¹、塚田 順一¹、石川 由紀¹、水林 亘¹、森田 行則¹、右田 真司¹、太田 裕之¹、昌原 明植¹ (1.産総研)

キーワード：しきい値電圧制御、三角チャネルFinFET、バックバイアス