09:00 〜 09:15
〇柳 永シュン1、クンプアン ソマワン1,2、長尾 昌善1、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマル)
柳 永シュン
発表者・著者、共著者
2016年3月19日(土) 09:00 〜 12:30 S423 (南4号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年3月20日(日) 09:00 〜 12:15 S422 (南4号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.5 デバイス／集積化技術
10:00 〜 10:15
〇柳 永シュン1、松川 貴1、遠藤 和彦1、大内 真一1、塚田 順一1、石川 由紀1、水林 亘1、森田 行則1、右田 真司1、太田 裕之1、昌原 明植1 (1.産総研)