[20a-S422-1~12] 13.5 デバイス／集積化技術

[20a-S422-7] ナノワイヤ型不純物偏析ショットキー接合MOSFETにおけるワイヤ幅縮小効果

〇遠藤 清¹、橋本 修一郎¹、武井 康平¹、ソン セイ¹、張 旭¹、徐 泰宇¹、麻田 修平¹、大場 俊輔¹、松川 貴²、昌原 明植²、渡邉 孝信¹ (1.早大理工、2.産総研)

キーワード：MOSFET、ナノワイヤ