[20a-S423-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [20a-S423-3] 曲げと圧力に高い選択性を持つフレキシブル触覚センサ

〇(B)中田 尚吾¹、金尾 顕一朗¹、原田 真吾¹、有江 隆之¹、秋田 成司¹、竹井 邦晴¹ (1.大阪府大工)

キーワード：フレキシブルデバイス、触覚センサ

本研究では、デバイス構造を新たに提案することで、触覚圧力のみに反応する高い選択性を有したフレキシブル触覚センサアレイを開発したので報告する。圧力を印加していない時は抵抗が>1GΩ (開回路)であったが、圧力を加えると抵抗が減少した。それに対し、曲率半径10mmの曲げにおいても開回路を維持し、測定抵抗値は1GΩ以上であった。本結果から、提案・作製した触覚センサが、曲げに対して高い選択性を有していることが確認できた。