[20a-S621-1~8] 3.15 Silicon photonics

[20a-S621-4] Design and Fabrication of Vertical Directional Si couplers

〇Yusuke Yamamoto¹, Kaihara Terunori¹, Shimizu Hiromasa¹ (1.Tokyo Univ. of Agri. & Tech.)

Keywords:Silicon Photonics

現在、通信量の増加から電気回線の光配線化が進んでおり、光集積回路では、導波路間の交差で生じるクロストークによるロスや、方向性結合器のGapをエッチングで形成する際に生じる荒れなどの問題がある。この問題を改善するために構造を３次元にすることで、導波路間距離が十分保て、Gapも成膜により形成できるため荒れを軽減できる。本研究では、光の立体配線を行うのに必要な積層型のSi方向性結合器の作製、評価を目的とした。