[20a-S621-1~8] 3.15 Silicon photonics

[20a-S621-6] Proposal and Measurement of interlayer trident type coupler for multi-layer optical circuits

〇(M1)Kazuto Itoh¹, Yuki Kuno¹, Yusuke Hayashi¹, Junichi Suzuki¹, Tomohiro Amemiya¹, Nobuhiko Nishiyama¹, Shigehisa Arai¹ (1.Tokyo Tech.)

Keywords:Multi-layered optical circuit,Amorphous silicon,Trident

LSI 上の光配線において、CMOS 層にダメージを与
えない300℃以下で成膜が可能な水素化アモルファス
Si (a-Si:H)を用いた多層光回路が有効である。われわれ
は、その層間信号伝送用デバイスとして層間距離無依
存な金属ミラーを装荷した高効率グレーティングカ
プラを実現した[1] [2]。一方、1 μm 程度の隣接層間距
離に対しては、より簡素な構造であるトライデント型
構造を用いることを提案する。今回はこの構造におけ
る層間距離1 μm の素子設計と特性評価を行ったので、
ご報告する。