[20a-W321-1~10] 3.7 レーザープロセシング

△ [20a-W321-8] レーザー干渉パターニングを利用した水熱合成法により合成した周期構造酸化亜鉛マイクロ結晶の特性評価

〇山崎 正瑛¹、下垣 哲也¹、小田 晃司¹、Iyamperumal Palani²、中村 大輔¹、東畠 三洋¹、中田 芳樹³、池上 浩¹、Nilesh Vasa⁴、岡田 龍雄¹ (1.九大シス情、2.インド工科大学インドール校、3.阪大レーザー研、4.インド工科大学マドラス校)

キーワード：酸化亜鉛、水熱合成法、レーザーパターニング

酸化亜鉛(ZnO)は3.37 eVのバンドギャップエネルギーと60 meVの励起子束縛エネルギーをもつことから高効率な紫外線発光素子材料として期待される．中でもナノ・マイクロサイズの微結晶は，薄膜にない特徴を有することから光電子デバイスのビルディングブロックとして応用する研究が盛んに行われている．本稿では4光束レーザー干渉光と水熱合成法を用いた周期構造ZnO結晶の作製と，その発光特性，結晶性の評価について報告する．