[20a-W321-1~10] 3.7 Laser processing

△ [20a-W321-8] Characterization of Periodic ZnO Microcrystals Grown by Hydrothermal Method Using Laser Interference Patterning

〇Masaaki Yamasaki¹, Tetsuya Shimogaki¹, Koji Oda¹, Iyamperumal Palani², Daisuke Nakamura¹, Mitsuhiro Higashihata¹, Yoshiki Nakata³, Hiroshi Ikenoue¹, Nilesh Vasa⁴, Tatsuo Okada¹ (1.Kyushu Univ., 2.IIT Indore, 3.Osaka Univ., 4.IIT Madras)

Keywords:ZnO,hydrothermal,laser patterning

酸化亜鉛(ZnO)は3.37 eVのバンドギャップエネルギーと60 meVの励起子束縛エネルギーをもつことから高効率な紫外線発光素子材料として期待される．中でもナノ・マイクロサイズの微結晶は，薄膜にない特徴を有することから光電子デバイスのビルディングブロックとして応用する研究が盛んに行われている．本稿では4光束レーザー干渉光と水熱合成法を用いた周期構造ZnO結晶の作製と，その発光特性，結晶性の評価について報告する．