[20a-W611-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

[20a-W611-10] 太陽光発電セル用単結晶シリコンウェハの穴明け加工

〇小野 裕道¹、三瓶 義之¹、小林 翼¹、大野 仁嗣²、高島 康文³、渋川 達弘⁴、池田 正則⁵、木田 康博⁶、白澤 勝彦⁶、高遠 秀尚⁶ (1.福島県ハイテクプラザ、2.横浜石英、3.東成EB東北、4.東北電子、5.日大工、6.産総研福島再エネ研)

キーワード：メタルラップスルー、穴加工