2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[20a-W611-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

2016年3月20日(日) 09:00 〜 12:15 W611 (西6号館)

野毛 宏(福島大)

10:00 〜 10:15

[20a-W611-5] n型結晶Si太陽電池のエミッタ形成方法検討

西村 邦彦1、小林 裕美子1、綿引 達郎1、時岡 秀忠1 (1.三菱電機)

キーワード:太陽電池、ボロン、BBr3

デバイスシミュレーションにより、n型結晶Si太陽電池のボロンエミッタの深さプロファイルと開放電圧Vovの関係を導出した。続いて、BBr3ソースを用いた熱拡散と追加アニールとの組み合わせによりボロンエミッタ構造を作製し、さらにパッシベーション膜を形成して、Voc評価を行ったところ、ボロンプロファイルの最適化によるVocの改善を確認した。BBr3を用いた方法で問題となる表面高濃度層は、アニール方法の改善で回避した。