[20a-W611-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

[20a-W611-7] 結晶シリコン太陽電池セルにおけるイオン注入によるリンエミッタの形成

〇棚橋 克人¹、森谷 正昭¹、木田 康博¹、福田 哲生¹、白澤 勝彦¹、高遠 秀尚¹ (1.産総研)

キーワード：イオン注入、リン、エミッタ