[20a-W611-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

[20a-W611-9] 太陽電池構造断面試料作製時のダメージが仕事関数測定に与える影響

〇(PC)山田 郁彦¹、神岡 武文¹、大下 祥雄¹、神谷 格¹ (1.豊田工大)

キーワード：結晶シリコン太陽電池、AFM/KFM、仕事関数測定

我々はこれまでKFMを用いて太陽電池構造や電極と基板界面における断面の局所的な仕事関数測定を行ってきた。断面仕事関数測定に適切な試料構造作製手法の確立を目指し、液体窒素中で冷却した基板の劈開を試み、仕事関数測定を行った。また、試料作製手法による断面へのダメージについて報告する。