[20p-H101-1~21] 15.6 IV族系化合物（SiC）

△ [20p-H101-7] p型SiCの電気化学エッチングにおける酸化物除去過程についての考察

〇榎薗 太郎¹、木本 恒暢¹、須田 淳¹ (1.京大工)

キーワード：電気化学エッチング、炭化ケイ素、微小電気機械システム

SiC MEMSデバイス作製に必要とされるp-SiCとn-SiCの選択エッチング手法として電気化学エッチング(ECエッチング)がある。ECエッチングには、均一なエッチングや、エッチングの異方性制御などが要請されるが、その実現には反応メカニズムの理解が重要である。そこで 今回、一定電流を流してECエッチングを行った際の印加電圧の時間変化に注目することで、その時の反応について考察したので報告する。