[20p-H103-1~21] 6.2 Carbon-based thin films

△ [20p-H103-12] Film functionality change by soft X-ray irradiation on the surface of fluorinated DLC films

〇(M1C)Hiroki Takamatsu^1,2, Masahito Niibe^1,2, Kazuhiro Kanda^1,2 (1.Univ. Hyogo, 2.Lasti)

Keywords:fluorinated DLC,low-K,contact angle

フッ素含有DLC(以後F-DLC)薄膜は、低表面自由エネルギーや生体親和性を示し、人工血管や金型の離型剤、光学機器等の防汚用コーティングとして応用されている。また、低誘電率を有することも知られており、low-K材料としての応用も期待されている。本研究では、F-DLC薄膜の航空宇宙産業や電子デバイス等での利用拡大を目的とし、F-DLC薄膜への軟X線の照射による機能性変化を明らかにした。