[20p-H103-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

△ [20p-H103-20] スパッタ法により作製したアモルファス窒化炭素薄膜における投入電力の影響とその光誘起変形

〇原田 人萌¹、青野 祐美¹、北沢 信章¹、渡邉 芳久¹ (1.防大材料)

キーワード：アモルファス窒化炭素、光誘起変形、スパッタ法