2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[20p-H103-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

2016年3月20日(日) 13:15 〜 19:00 H103 (本館)

青野 祐美(防衛大)、中村 挙子(産総研)、澤邊 厚仁(青学大)

15:00 〜 15:15

[20p-H103-7] NEXAFS法と固体NMR法によるDLC膜のsp3/(sp3+sp2)比率の定量分析

〇(D)周 小龍1、Tunmee Sarayut1、鈴木 常生1、河原 成元1、神田 一浩2、Phothongkam Pat3、中島 秀樹3、小松 啓志1、齋藤 秀俊1 (1.長岡技科大、2.兵庫県立大、3.泰国シンクロトロン光研究所)

キーワード:ダイヤモンドライクカーボン膜、NEXAFS、固体NMR

sp3構造の炭素(C-sp3)の含有量はダイヤモンドライクカーボン(DLC)の分類に最も重要なパラメータであることが知られている。NEXAFS法では、水素量が多く絶縁体に近い試料を測定する場合は、C-sp3含有量の値が上手く求められないことが経験的に知られている。固体核磁気共鳴(NMR)法では、DLC膜中のC-sp3の定量化の解析を行う際によく使われている。本研究では、水素量を定量したDLC試料のsp3/(sp3+sp2) 比率をNEXAFS法と固体NMR法で解析し、その定量性を比較する。