[20p-H103-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

△ [20p-H103-7] NEXAFS法と固体NMR法によるDLC膜のsp³/(sp³+sp²)比率の定量分析

〇(D)周 小龍¹、Tunmee Sarayut¹、鈴木 常生¹、河原 成元¹、神田 一浩²、Phothongkam Pat³、中島 秀樹³、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大、2.兵庫県立大、3.泰国シンクロトロン光研究所)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン膜、NEXAFS、固体NMR

sp³構造の炭素(C-sp³)の含有量はダイヤモンドライクカーボン(DLC)の分類に最も重要なパラメータであることが知られている。NEXAFS法では、水素量が多く絶縁体に近い試料を測定する場合は、C-sp³含有量の値が上手く求められないことが経験的に知られている。固体核磁気共鳴(NMR)法では、DLC膜中のC-sp³の定量化の解析を行う際によく使われている。本研究では、水素量を定量したDLC試料のsp³/(sp³+sp²) 比率をNEXAFS法と固体NMR法で解析し、その定量性を比較する。