2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[20p-H112-1~12] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2016年3月20日(日) 13:15 〜 16:30 H112 (本館)

有元 圭介(山梨大)

14:15 〜 14:30

[20p-H112-5] 選択的イオン注入法で作製した一軸性歪Geの異方性応力評価

山本 章太郎1、武内 一真1、小瀬村 大亮1、此島 詩織2、澤野 憲太郎2、小椋 厚志1 (1.明治大理工、2.都市大総研)

キーワード:歪、ゲルマニウム、イオン注入