2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[20p-H112-1~12] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2016年3月20日(日) 13:15 〜 16:30 H112 (本館)

有元 圭介(山梨大)

14:45 〜 15:00

[20p-H112-6] マイクロ回折法によるMOCVD-Ge1−xSnx/Ge細線構造内部の局所歪量評価

犬塚 雄貴1、池 進一1,2、鷲津 智也1、竹内 和歌奈1、志村 洋介1、今井 康彦3、木村 滋3、中塚 理1、財満 鎭明1,4 (1.名古屋大院工、2.学振特別研究員、3.JASRI、4.名古屋大未来研)

キーワード:ゲルマニウムスズ、有機金属化学気相成長法、歪ゲルマニウム