[20p-H116-1~21] 3.8 光計測技術・機器

△ [20p-H116-7] 導波モードセンサによる硫酸銅めっき液中添加剤量監視

〇佐藤 洸太朗¹、大木 義路^1,2、藤巻 真³ (1.早大先進理工、2.早大材研、3.産総研)

キーワード：光センシング、導波モード、めっき

LSIなどに用いられている、硫酸銅めっき液には添加剤が必要である。添加剤が減少すると、密着不良などに繋がるため、添加剤量の監視は重要である。現状、添加剤量の監視は目視試験に依っており、より客観的かつ簡易な方法が望まれている。今回、我々は独自に開発している導波モードセンサにより、めっき液中添加剤の添加量と反射スペクトルの相関を確認し、本センサが添加剤量の監視に有効であることを見出したので報告する。