[20p-P13-1~14] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[20p-P13-5] CaSi₂をテンプレートとしたクエン酸,リンゴ酸及びEDTA溶液処理によるSi系ナノ構造物の作製

〇熊澤 佑貴¹、佐々木 謙太²、孟 祥³、袁 佩玲³、立岡 浩一² (1.静岡大工、2.静岡大院工、3.静岡大院創造)

キーワード：シリサイド、ナノシート、キレート剤