[20p-P8-1~6] 9.3 ナノエレクトロニクス

△ [20p-P8-4] 高精度デジタルウェットエッチング技術によるGaAsナノ構造形成

〇黒田 亮太^1,2、佐藤 将来^1,2、葛西 誠也^1,2 (1.北大量子集積センター、2.北大院情報科学)

キーワード：GaAs、ウェットエッチング、ナノワイヤ