[20p-P9-1~22] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[20p-P9-9] n型およびp型GaN中のプラズマ照射誘起欠陥挙動

古賀 祐介¹、井上 凌兵¹、〇中村 成志¹、奥村 次徳¹ (1.首都大理工)

キーワード：プラズマ照射誘起欠陥