[20p-S221-1~17] 13.3 絶縁膜技術

[20p-S221-10] 不純物添加による酸化ランタン薄膜の耐湿性向上

〇安達 裕¹、坂口 勲¹ (1.物材機構)

キーワード：フッ化カルシウム

希土類酸化物であるLa₂O₃は、比誘電率が約27とSiO₂の約7倍の値を持ち、Siとのバンドオフセットも比較的大きいことから、SiOやSiNにかわるゲート絶縁膜としての利用が期待できるが、実用化のためにはその極めて強い吸湿性の改善が必要である。本研究において、La₂O₃に微量のCaF₂を添加するとLa₂O₃の耐湿性が向上することを見出したので、それについて報告する。