[20p-S221-1~17] 13.3 絶縁膜技術

[20p-S221-11] 液相堆積法によるSrTiO₃のイオンドリフトの影響

〇(M1C)國光 俊作¹、稲野 基¹、羽路 伸夫¹ (1.横国大院工)

キーワード：液相堆積法、誘電体薄膜、イオンドリフト

近年の情報化社会の成長によって，電子デバイスには軽量化，高速化が求められている。本研究室では液相堆積（Liquid Phase Deposition：LPD）法による， (Ba,Sr)TiO₃（以下:BST）やBi₄Ti₃O₁₂（以下：BIT）などの強誘電体材料のMIM（Metal Insulator Metal）キャパシタとしての応用および強誘電体材料を用いたFeRAMに関する研究を行っている。本研究において，BSTの基本構成物質であるSrTiO₃のLPD法による堆積を行ったところ，イオンドリフトの影響を確認したため，これを報告するものである。